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  • 高精度JKZC-IM系列
    高精度JKZC-IM系列 JKZC-IM系列高精度六自由度并联运动平台可实现多自由度运动,动态范围大,承载大,稳定性强,任意指定转动中心,可满足各种工业需求,适应大气和真空环境。广泛应用于显微操纵、生物技术、半导体制造等。
  • 高精度JKZC-TM
    高精度JKZC-TM JKZC-TM系列 高精度六自由度并联运动平台可实现多自由度运动,动态范围大,承载大,稳定性强,任意指定转动中心,可满足各种工业需求,适应大气和真空环境。广泛应用于显微操纵、生物技术、半导体制造等。
  • 高精度晶圆对位平台
    高精度晶圆对位平台 高精度晶圆对位平台采用音圈电机直接驱动的并联机械结构设计,具有速度快、刚度高、承载能力强等优点。满足工业产线上高精度、高频率的对位、绑定、贴合、组装等应用需求。
  • 高精度旋转平台
    高精度旋转平台 高精度旋转平台基于粘滑仿生运动原理及整/亚步复合纳米运动技术,提供连续旋转的同时保证纳米级分辨率,拥有的可拓展性和可集成性。
  • 高速纳米扫描台
    高速纳米扫描台 高速纳米扫描台基于音圈电机驱动和高精度导向模组实现纳米级超高分辨力的定位/扫描直线运动,内置光栅位移传感器,具有纳米级运动分辨率和运动精度,同时兼具高速、高动态位移定位和扫描功能。
  • 晶圆面内对位台
    晶圆面内对位台 专为芯片-品圆键合(Dle-to-Wafer,D2W)应用场景而设计,具备高精度、高动态呐应、且可集成于多种封装设备的纳米级运动控制系统。
  • 精密位移台运动系统
    精密位移台运动系统 任何位移台都有6个自由度:3个分别沿着x、y、z轴方向的平移自由度,另外3个则是围绕x、yz轴的旋转自由度(如图1)。
  • 精密运动位移台
    精密运动位移台 精密运动位移台基于步进电机驱动和高精度导向模组实现纳米级超高分辨力的定位/扫描直线运动,内置光栅位移传感器,结构紧凑,通过自主研发的高性能纳米伺服系统获得优异的闭环控制效果,具有高精度、高速、高动态位...
  • 绝对式光栅尺传感器
    绝对式光栅尺传感器 JKZC系列绝对式纳米光栅尺传感器基于阿米精控自主知识产权量测系统设计,可实现非接触测量,保证了的测量分辨率,满足各种应用场景下纳米级的测量需求。
  • 纳米微位移传感器主机
    纳米微位移传感器主机 JKZC-CDM-0x系列微位移传感器主机专为紧凑型应用设计,内置前置放大器、滤波器和信号调理电路,并针对适配探头进行驱动优化,适合于集成型应用。
  • 音圈电机驱动偏摆镜BSM
    音圈电机驱动偏摆镜BSM 音圈电机驱动偏摆镜BSM采用差分驱动与差分传感设计,通过负载平面的两轴(θx,0y)旋转运动实现高精密指向与调姿,输出扭矩大,控制精度高,适用于超远程大口径光束的快速指向、扫描及跟踪。
  • JKZC-CC600C数显式光栅垂直度检测仪
    JKZC-CC600C数显式光栅垂直度检测仪 JKZC-CC600C数显式垂直度检测仪是精密的测量装置,数据操作直观,电动控制行程使示值更稳定,数据直观,垂直度检测采用双位测量的绝对测量方法具有《水平仪的零位检定器》,《直角尺检查仪》多功能的使用...
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