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2019-09-16
+2024-09-27
+2018-07-11
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详细介绍
| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 国产 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保,能源,道路/轨道/船舶,综合,机械设备 |
JKZC-770.300 大负载压电纳米定位台

产品介绍
压电纳米定位台在精密定位领域中发挥着至关重要的作用,可集成于各 类高精密装备,为其提供纳米级运动控制,且应用非常广泛。
JKZC-770.300 大负载压电纳米定位台为 Z 轴方向的运动平台,行程可达 300μm,负载可达5kg,实现行程范围和负载能力的双提升,为同时有大行程、 大负载应用需求提供了优质的解决方案。配合芯明天压电控制器,分辨率高、 响应速度快。
产品特点
1、Z 向运动 2、300μm 3、承载达 5kg
4、参数可定制 5、可定制真空版本
典型应用
1、显微扫描 2、光路调整 3、纳米操控技术 4、激光干涉
5、纳米光刻 6、生物科技 7、光通信 8、纳米测量
9、显微操作 10、纳米压印
技术参数
型号 | JKZC-770.300S | JKZC-770.300K | 单位 | |
运动方向 | Z | Z | ||
驱动控制 | 1路驱动,1路传感 | 1路驱动 | ||
标称行程范围(0~120V) | 240 | 240 | μm±10% | |
Max.行程范围(0~150V) | 300 | 300 | μm±10% | |
传感器类型 | SGS | - | ||
分辨率 | 10 | 3 | nm | |
闭环线性度 | 0.08 | - | %F.S. | |
闭环重复定位精度 | 0.02 | - | %F.S. | |
俯仰/偏航/滚动 | <15 | <15 | μrad | |
空载谐振频率 | 380 | 380 | Hz±20% | |
带载谐振频率 | 110@5kg | 110@5kg | Hz±20% | |
闭/开环空载阶跃时间 | 300/10 | 300/10 | ms±20% | |
承载能力 | 水平安装 | 5 | 5 | kg |
立式安装 | 0.08 | 0.08 | kg | |
倒置安装 | 0.4 | 0.4 | kg | |
静电容量 | 40.8 | 40.8 | μF±10% | |
台体材料 | 钢、铝 | 钢、铝 | ||
重量 | 1 | 1 | kg±5% | |
工作温度 | -20~80 | -20~80 | ℃ | |
注:以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。最大驱动电压可在 -20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在 0~120V
安装方向 | 水平安装 | 立式安装 | 倒置安装 |
释义 | 将PZT平台水平放置安装,运动面位于PZT平台的上方,运动面与水平面平行。 PS:参数表中承载能力默认方向
| 将PZT平台立式放置安装,运动面与重力方向平行 PS:存在多种立式安装方式,技术参数对应承载
| 将PZT平台水平放置,但运动面位于定位台的下方 |
示意图 | | | |
备注 | 当安装方式选择为立式安装时,需注意出线口 | ||
尺寸图

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