010-61446422010-61446422
PRODUCT我们相信好的产品是信誉的保证！
ARTICLES致力于成为更好的解决方案供应商！
2017-07-07
+2025-03-11
+2019-10-16
+
详细介绍
| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 国产 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保,能源,道路/轨道/船舶,综合,机械设备 |
JKZC-611.Z300 系列压电纳米定位台（低温真空）
产品简介
JKZC-611.Z300 是一款 Z 向运动的压电纳米定位台，它的行 程可达 300μm，是专为低温真空环境应用而研发设计。
产品特点
1、 Z 向运动 2、行程达 300μm 3、适用于低温真空应用
4、 可选闭环传感器 5、高精度
产品应用
1、表面检测 2、 显微成像 3、 低温真空 4、 半导体加工与测试
技术参数
型号 | JKZC-611.Z300S | JKZC-611.Z300S | 单位 | |
运动方向 | Z | Z | ||
驱动控制 | 1路驱动，1路传感 | 1 路驱动 | ||
标称行程范围（0 ~120 V） | 240 | 240 | µm±20% | |
Max.行程范围（0~150V） | 300 | 300 | µm±20% | |
传感器类型 | SGS，全闭环 | - | ||
分辨率 | 10 | 3 | nm | |
闭环线性度 | 0.5 | - | %F.S. | |
闭环重复定位精度 | 0.15 | - | %F.S. | |
空载谐振频率 | 105 | 105 | Hz±20% | |
带载谐振频率 | 30（@300g） | 30（@300g） | ||
承载能力 | 水平安装 | 0.3 | 0.3 | kg |
立式安装 | 0.02 | 0.02 | ||
倒置安装 | 0.02 | 0.02 | ||
静电容量 | 5.4 | 5.4 | μF±20% | |
材质 | 钛 | 钛 | ||
安装方向 | 水平安装 | 立式安装 | 倒置安装 |
释义 | 将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 | 将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应承载 | 将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
示意图 | | | |
备注 | 当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 | ||
尺寸图
产品咨询
当前位置：
