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型号:
JKZC66.X90C高分辨率压电纳米定位台

描述:JKZC66.X90C高分辨率压电纳米定位台可实现一维X向直线运动,行程可达到95μm。闭环版本采用电容CAP闭环,搭配芯明天自研的E53.D1C-H压电控制器,可以实现更高精度的运动控制。

  • 厂商性质

    生产厂家
  • 更新时间

    2026-08-06
  • 访问量

    64
详细介绍
品牌其他品牌产地类别国产
应用领域环保,能源,道路/轨道/船舶,综合,机械设备

JKZC66.X90C高分辨率压电纳米定位台

JKZC66.X90C高分辨率压电纳米定位台

 

产品介绍:

JKZC66.X90C高分辨率压电纳米定位台可实现一维X向直线运动,行程可达到95μm。闭环版本采用电容CAP闭环,搭配芯明天自研的E53.D1C-H压电控制器,可以实现更高精度的运动控制。

产品特点

1、一维X向运动                    2、电容闭环    

3、可选正立/卧式/倒置使用          4、纳米级分辨率

JKZC66.X90C高分辨率压电纳米定位台

技术参数:

型号

尾缀C-闭环

尾缀K-开环

JKZC66.X90C

JKZC66.X90K

单位

运动自由度

X

X


驱动控制

1路驱动1路传感

1路驱动


标称行程范围(0~120V)

76

76

μm±10%

Max.行程范围(0~150V)

95

95

μm±10%

传感器

CAP

-


分辨率

3

1

nm

闭环线性度

0.021

-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.005

-

%F.S.

空载谐振频率

615

615

Hz±20%

带载谐振频率@5Kg

310

310

Hz±20%

阶跃时间@5kg

8@20μm

6

ms±20%

承载能力

水平安装

10

10

kg

立式安装

0.05或5*

0.05或5*

倒置安装

10

10

静电容量

37

37

μF±20%

材质

铝合金

铝合金


重量(含线)

5.7

5.7

kg±5%

 

安装方向

水平安装

立式安装

倒置安装

释义

   将PZT平台水平放置安装,运动面位于PZT平台的上方,运动面与水平面平行。

PS:参数表中承载能力默认方向

 PZT平台立式放置安装,运动面与重力方向平行

PS:存在多种立式安装方式,技术参数对应承载

PZT平台水平放置,但运动面位于定位台的下方

示意图

 JKZC66.X90C高分辨率压电纳米定位台

 JKZC66.X90C高分辨率压电纳米定位台

 JKZC66.X90C高分辨率压电纳米定位台

备注

当安装方式选择为立式安装时,需注意出线口


 

 

尺寸图

JKZC66.X90C高分辨率压电纳米定位台

 


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