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型号:
JKZC66.X15系列高分辨率压电纳米定位台

描述:JKZC66.X15系列高分辨率压电纳米定位台为一维X向运动压电平台,其内部采用直驱机构,可进行15μm范围内的纳米级位置调整。可采用水平、立式、倒置三种安装方式,每种安装承载能力不同,承载上限可达1kg。闭环版本可实现更高的定位精度。

  • 厂商性质

    生产厂家
  • 更新时间

    2026-08-06
  • 访问量

    64
详细介绍
品牌其他品牌产地类别国产
应用领域环保,能源,道路/轨道/船舶,综合,机械设备

JKZC66.X15系列高分辨率压电纳米定位台

JKZC66.X15系列高分辨率压电纳米定位台

 

产品介绍

  JKZC66.X15系列高分辨率压电纳米定位台为一维X向运动压电平台,其内部采用直驱机构,可进行15μm范围内的纳米级位置调整。可采用水平、立式、倒置三种安装方式,每种安装承载能力不同,承载上限可达1kg。闭环版本可实现更高的定位精度。

 

 

产品特点

 

1、 一维X向运动

2、 行程可达15μm

3、纳米级定位精度

4、分辨率可达0.5nm

 

JKZC66.X15系列高分辨率压电纳米定位台

 

 

技术参数:

型号

尾缀S-闭环

尾缀K-开环

JKZC66.X15S

JKZC66.X15K

单位

运动自由度

X

X


驱动控制

1路驱动1路传感

1路驱动


标称行程范围(0~120V)

12

12

μm±10%

Max.行程范围(0~150V)

15

15

μm±10%

/开环分辨率

1

0.5

nm

闭环线性度

0.16

-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.03

-

%F.S.

/拉力

500/20

500/20

N

刚度

28.8

28.8

N/μm±20%

空载谐振频率

4350

4350

Hz±20%

带载谐振频率@300g

1070

1070

Hz±20%

承载能力

水平安装

1

1

kg

立式安装

0.5

0.5

倒置安装

1

1

/开环空载阶跃时间

8@300g

2

ms±20%

静电容量

3.2

3.2

μF±20%

材料

不锈钢、铝合金

不锈钢、铝合金


重量

265

265

g±5%

连接器

驱动:J14A-9TJL

传感:J14A-15TJL

驱动:J14A-9TJL


 

安装方向

水平安装

立式安装

倒置安装

释义

   PZT平台水平放置安装,运动面位于PZT平台的上方,运动面与水平面平行

PS:参数表中承载能力默认方向

 PZT平台立式放置安装,运动面与重力方向平行

PS:存在多种立式安装方式,技术参数对应承载

PZT平台水平放置,但运动面位于定位台的下方

示意图

 JKZC66.X15系列高分辨率压电纳米定位台

 JKZC66.X15系列高分辨率压电纳米定位台

 JKZC66.X15系列高分辨率压电纳米定位台

备注

当安装方式选择为立式安装时,需注意出线口

 

 

 

尺寸图

JKZC66.X15系列高分辨率压电纳米定位台

 


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