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2016-07-08
+2022-04-15
+2025-03-11
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详细介绍
| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 国产 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保,能源,道路/轨道/船舶,综合,机械设备 |
JKZC66.X2K&P66.X5K高分辨率压电纳米定位台

产品介绍
JKZC66.X2K为一款一维真空高分辨率压电纳米定位台。该产品采用直驱结构,可在X向实现2.4μm位移,承载可达1kg。它尺寸为70mm×85mm×20.5mm,体积非常小巧,可在体积有限的空间中使用。定制航空连接器,可在真空环境下使用。
JKZ66.X5K为一款高分辨率压电纳米定位台。该产品采用压电陶瓷直驱,可在X向实现4.7μm位移,水平方向安装承载可达2kg。体积小巧,结构紧凑,尺寸仅为85×70×15.5mm^3,,适于在体积有限的空间中使用。该产品分辨率可达0.005nm,阶跃时间可达1毫秒,适于高精度快速响应应用。
产品特点
1、 一维X向运动 | 2、 毫秒级响应时间 | 3、 真空版本可选 | 4、 可选水平/立式/倒置安装使用 |
产品应用
1、 干涉显微 | 2、 扫描 | 3、 光学测量 | 4、 精密控制计量 |

技术参数:
型号 | JKZC66.X2K | JKZC66.X5K | 单位 | |
运动自由度 | X | X | ||
驱动控制 | 1路驱动 | 1路驱动 | ||
标称行程范围(0~120V) | 1.9 | 1.9 | μm±10% | |
Max.行程范围(0~150V) | 2.4 | 4.7 | μm±10% | |
开环分辨率 | 0.02 | 0.005 | nm | |
空载谐振频率 | 6.4 | 2 | kHz±20% | |
带载谐振频率 | 5@20g | 0.4@2kg | kHz±20% | |
阶跃时间 | 2 | 1 | ms±20% | |
静电容量 | 0.58 | 0.38 | μF±20% | |
工作温度范围 | -20~80 | -20~80 | ℃ | |
承载能力 | 水平安装 | 1 | 2 | kg |
立式安装 | 1 | 1.5 | ||
倒置安装 | 1 | 2 | ||
工作温度范围 | -20~65 | -20~65 | ℃ | |
材质 | 不锈钢、铝合金 | 不锈钢、铝合金 | μF±20% | |
出线长 | - | 1.5 | m±10mm | |
重量 | 310 | 240 | g | |
安装方向 | 水平安装 | 立式安装 | 倒置安装 |
释义 | 将PZT平台水平放置安装,运动面位于PZT平台的上方,运动面与水平面平行。 PS:参数表中承载能力默认方向 | 将PZT平台立式放置安装,运动面与重力方向平行 PS:存在多种立式安装方式,技术参数对应承载 | 将PZT平台水平放置,但运动面位于定位台的下方 |
示意图 |
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备注 | 当安装方式选择为立式安装时,需注意出线口 | ||
P66.X2K 尺寸图

P66.X5K 尺寸图

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