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2024-12-10
+2016-07-08
+2020-04-23
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JKZC-3CD-300三维纳米定位/扫描平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动,通过高性能纳米伺服系统实现闭环控制,具有亚纳米级运动分辨率、纳米级运动精度和高速、高动态轨迹扫描功能。
JKZC-C2A微纳控制器通过优化控制输入/输出摆率和电源瞬态特性,引入增益动态调整、相差动态补偿和高频增益补偿等自适应机制,实现了系统性能和鲁棒性的混合优化o
JKZC-CS Tripod为适应紧凑及模块化的多轴运动系统,采用精密粘滑式压电驱动,并联刚柔耦合机构,在保证工作空间内高刚度的基础上,提供超精密的连续偏摆与升降。
JKZC-NHR高精度角度台专用10°范围内高分辨率θ定位移动,基于粘滑仿生运动原理及特殊设计的驱动和纳米伺服技术,具有纳米级重复定位精度,可实现运动行程士5°的俯仰调节。
JKZC-OL-Z物镜压电纳米平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动,通过高性能纳米伺服系统实现闭环控制,具有亚纳米级运动分辨率、纳米级运动精度和高速、高动态轨迹扫描功能。