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详细介绍
| 品牌 | 北京精科 | 产地类别 | 国产 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保,能源,电子/电池,电气,综合 |
JKZC-3CD-300三维纳米定位/扫描平台
JKZC-3CD-300三维纳米定位/扫描平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动，通过高性能纳米伺服系统实现闭环控制，具有亚纳米级运动分辨率、纳米级运动精度和高速、高动态轨迹扫描功能。
1、典型应用
光学对准
纳米压印
显微成像/操纵
表面检测
高密度存储
测量技术
半导体加工
2、技术特点
亚纳米级分辨率
超高定位精度
无摩擦柔性较链导向
可正置/倒置
超高真空兼容性
高速、高动态
多运动模式：定位/扫描
3、2D尺寸图
4、规格参数
JKZC-3CD-300 | 单位 | |
运动触数 | 3 | |
驱动类型 | 压电陶瓷 | |
闭环行程 | 300x300x300 | μm |
闭环分辨率 | 2 | nm |
重复定位精度 | 10 | nm |
XY/Z向上的无负载谐频率 | 600/600/550 | Hz |
最大负载 | 40 | g |
传感器类型 | 电容传感器 | |
尺寸(LxWxH) | 170x170x36.5 | mm |
白重 | 1778 | g |
电气接口 | D-sub9/可定制 | |
工作泗度 | -20-80 | ℃ |
屏蔽线缆长度 | 2 | m |
材料 | 铝合金 |
5、适配控制器
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