
PRODUCT我们相信好的产品是信誉的保证!
ARTICLES致力于成为更好的解决方案供应商!
2020-05-18
+2022-10-21
+2021-08-03
+
详细介绍
| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 国产 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保,能源,道路/轨道/船舶,综合,机械设备 |
JKZC60.Z500S/K-C1W压电纳米定位台(真空无磁)

产品介绍:
为满足客户真空无磁环境下压电纳米定位台使用需求,芯明天研发和设计了JKZC60.Z500S/K-C1W一维Z向压电纳米定位台。其内部采用无摩擦柔性铰链导向机构,一体化的结构设计。定位台内置高性能压电陶瓷,可实现500μm位移。闭环版本全桥设计避免了温度的漂移,确保了纳米级定位精度。其内部结构、材质已经过特殊处理,适用于真空无磁环境。
产品特点:
1、一维Z向运动 2、Max.行程可达500μm 3、真空无磁
4、水平安装下负载可达2.5kg 5、外形尺寸138×138×36mm^3
典型应用:
1、SPM扫描显微镜 2、掩模/晶圆定位 3、表面结构分析 4、生物技术

技术参数
型号 | 尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | JKZC60.Z500S-C1W | JKZC60.Z500K-C1W | 单位 | |
运动自由度 | Z | Z | |||
驱动控制 | 1路驱动,1路传感 | 1路驱动 | |||
标称行程范围(0~120V) | 400 | 400 | μm±10% | ||
Max.行程范围(0~150V) | 500 | 500 | μm±10% | ||
传感器 | SGS | - | |||
闭/开环分辨率 | 13.5 | 0.5 | nm | ||
闭环线性度 | 0.078 | - | %F.S. | ||
闭环重复定位精度 | 0.03 | - | %F.S. | ||
空载谐振频率 | 260 | 260 | Hz±20% | ||
带载谐振频率@1100g | 120 | 120 | Hz±20% | ||
承载能力 | 水平安装 | 2.5 | 2.5 | kg | |
立式安装 | 0.05 | 0.05 | |||
倒置安装 | 0.1 | 0.1 | |||
闭/开环空载阶跃时间 | 120@1100g,30μm | 10 | ms±20% | ||
静电容量 | 58.5 | 58.5 | μF±20% | ||
工作温度范围 | -20~65 | -20~65 | ℃ | ||
材料 | 钛、铝 | 钛、铝 | |||
重量 | 950 | 950 | g±5% | ||
真空度 | 1×10^(-6) | 1×10^(-6) | mbar | ||
安装方向 | 水平安装 | 立式安装 | 倒置安装 |
释义 | 将PZT平台水平放置安装,运动面位于PZT平台的上方,运动面与水平面平行。 PS:参数表中承载能力默认方向 | 将PZT平台立式放置安装,运动面与重力方向平行 PS:存在多种立式安装方式,技术参数对应承载 | 将PZT平台水平放置,但运动面位于定位台的下方 |
示意图 | | | |
备注 | 当安装方式选择为立式安装时,需注意出线口 | ||
尺寸图

产品咨询