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型号:
JKZC60.Z500S/K-C1W压电纳米定位台

描述:为满足客户真空无磁环境下压电纳米定位台使用需求,芯明天研发和设计了JKZC60.Z500S/K-C1W一维Z向压电纳米定位台。其内部采用无摩擦柔性铰链导向机构,一体化的结构设计。定位台内置高性能压电陶瓷,可实现500μm位移。闭环版本全桥设计避免了温度的漂移,确保了纳米级定位精度。其内部结构、材质已经过特殊处理,适用于真空无磁环境。

  • 厂商性质

    生产厂家
  • 更新时间

    2026-08-06
  • 访问量

    16
详细介绍
品牌其他品牌产地类别国产
应用领域环保,能源,道路/轨道/船舶,综合,机械设备

JKZC60.Z500S/K-C1W压电纳米定位台(真空无磁)

JKZC60.Z500S/K-C1W压电纳米定位台

 

产品介绍:

为满足客户真空无磁环境下压电纳米定位台使用需求,芯明天研发和设计了JKZC60.Z500S/K-C1W一维Z向压电纳米定位台。其内部采用无摩擦柔性铰链导向机构,一体化的结构设计。定位台内置高性能压电陶瓷,可实现500μm位移。闭环版本全桥设计避免了温度的漂移,确保了纳米级定位精度。其内部结构、材质已经过特殊处理,适用于真空无磁环境。

产品特点

1、一维Z向运动                2、Max.行程可达500μm            3、真空无磁

4、水平安装下负载可达2.5kg     5、外形尺寸138×138×36mm^3

典型应用

1、SPM扫描显微镜      2、掩模/晶圆定位     3、表面结构分析      4、生物技术

JKZC60.Z500S/K-C1W压电纳米定位台

 

技术参数

型号

尾缀S-闭环

尾缀K-开环

JKZC60.Z500S-C1W

JKZC60.Z500K-C1W

单位

运动自由度

Z

Z


驱动控制

1路驱动1路传感

1路驱动


标称行程范围(0~120V)

400

400

μm±10%

Max.行程范围(0~150V)

500

500

μm±10%

传感器

SGS

-


/开环分辨率

13.5

0.5

nm

闭环线性度

0.078

-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.03

-

%F.S.

空载谐振频率

260

260

Hz±20%

带载谐振频率@1100g

120

120

Hz±20%

承载能力

水平安装

2.5

2.5

kg

立式安装

0.05

0.05

倒置安装

0.1

0.1

/开环空载阶跃时间

120@1100g,30μm

10

ms±20%

静电容量

58.5

58.5

μF±20%

工作温度范围

-20~65

-20~65

材料

钛、铝

钛、铝


重量

950

950

g±5%

真空度

1×10^(-6)

1×10^(-6)

mbar

 

 

 

 

安装方向

水平安装

立式安装

倒置安装

释义

   将PZT平台水平放置安装,运动面位于PZT平台的上方,运动面与水平面平行。

PS:参数表中承载能力默认方向

 PZT平台立式放置安装,运动面与重力方向平行

PS:存在多种立式安装方式,技术参数对应承载

PZT平台水平放置,但运动面位于定位台的下方

示意图

 JKZC60.Z500S/K-C1W压电纳米定位台

 JKZC60.Z500S/K-C1W压电纳米定位台

 JKZC60.Z500S/K-C1W压电纳米定位台

备注

当安装方式选择为立式安装时,需注意出线口

 

 

 

尺寸图

JKZC60.Z500S/K-C1W压电纳米定位台

 

 


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