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2020-05-18
+2022-10-21
+2021-08-03
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详细介绍
| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 国产 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保,能源,道路/轨道/船舶,综合,机械设备 |
JKZC60.X200系列压电纳米定位台
产品介绍：
JKZC60.X200系列压电纳米定位台采用机构放大设计原理，柔性铰链连接支撑传动，内部采用高可靠性压电陶瓷驱动，在X轴可实现达200μm的位移，可配置闭环传感实现高精度扫描与定位。平台可以通过叠加转接的方式实现二维、三维运动。
产品特点：
1、一维X向运动 2、行程可达200μm 3、开/闭环可选
4、真空版本可选 5、可组多维使用
典型应用：
1、SPM扫描显微镜 2、掩模/晶圆定位 3、表面结构分析
4、生物技术 5、干涉 6、计量
技术参数：
型号 | 尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | JKZC60.X200S | JKZC60.X200K | 单位 | ||
运动自由度 | X | X | ||||
驱动控制 | 1路驱动，1路传感 | 1路驱动 | ||||
标称行程范围（0~120V） | 160 | 160 | μm±10% | |||
Max.行程范围（0~150V） | 200 | 200 | μm±10% | |||
传感器 | SGS | - | ||||
闭/开环分辨率 | 7 | 0.2 | nm | |||
闭环线性度 | 0.02 | - | %F.S. | |||
闭环重复定位精度 | 0.01 | - | %F.S. | |||
俯仰/偏航/滚动 | ＜15 | ＜15 | μrad | |||
闭/开环空载阶跃时间 | 50@20μm，1300g | 30 | ms±20% | |||
空载谐振频率 | 370 | 370 | Hz±20% | |||
带载谐振频率@1300g | 120 | 120 | Hz±20% | |||
静电容量 | 10.8 | 10.8 | μF±20% | |||
工作温度范围 | -20~80 | -20~80 | ℃ | |||
承载能力 | 水平安装 | 5 | 5 | kg | ||
立式安装 | 3 | 3 | ||||
倒置安装 | 5 | 5 | ||||
材质 | 不锈钢、铝合金 | 不锈钢、铝合金 | ||||
重量 | 630 | 630 | g±5% | |||
安装方向 | 水平安装 | 立式安装 | 倒置安装 | |||
释义 | 将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 | 将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应承载 | 将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 | |||
示意图 | | | | |||
备注 | 当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 | |||||
尺寸图
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