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2019-09-12
+2019-08-12
+2025-12-25
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详细介绍
| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 国产 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保,能源,道路/轨道/船舶,综合,机械设备 |
JKZC-P66.Z30高分辨率压电纳米定位台
产品介绍：
JKZC-P66.Z直驱压电平移台，是一维Z轴运动高分辨率压电定位台，采用压电陶瓷直驱机构的设计原理，具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可以实现纳米级分辨率、定位精度具有可靠性，压电平移台在精密定位领域中发挥着重要的作用。
产品特点：
1、 位移30μm/轴 2、电阻与电容传感器可选
3、亚毫秒响应时间 4、 承载1kg 5、真空版本可选
开环与闭环版本可选
JKZC- P66系列压电纳米定位台可以选择开环或闭环版本，闭环版本压电纳米定位台内部配有高分辨率及快速响应的应变传感器（SGS），配备在驱动机构的合适位置，它可向控制器反馈高带宽、高精度的电压信号。
应用实例：原子力探针扫描显微镜
压电纳米定位台以其高响应频率、高精度、高可靠性等优势广泛应用于原子力探针扫描显微镜中。
产品应用
1、光纤端面检测 2、光纤对接 3、 硬盘测试
4、电化学加工 5、 3D锡膏检测 6、 干涉法/ 显微/纳米定位
7、生物技术/半导体技 8、质量保证测试 9、微加工/精密控制
技术参数
型号 | JKZC-P70.Z8S (直驱机构） | JKZC-P70.Z8K（直驱机构） | 单位 | |
运动自由度 | Z | Z | ||
驱动控制 | 1 路驱动，1路传感 | 1 路驱动 | ||
标称行程范围（0~120V） | 24 | 24 | μm±10% | |
Max.行程范围（0~150V） | 30 | 30 | μm±10% | |
传感器类型 | SGS | - | ||
闭/开环分辨率 | 1 | 0.5 | nm | |
闭环线性度 | 0.1 | - | %F.S. | |
闭环重复定位精度 | 0.05 | - | %F.S. | |
俯仰/偏航/滚动 | <15 | <15 | μrad | |
推/拉力 | 30/10 | 30/10 | N | |
运动方向刚度 | 1.1 | 1.1 | N/μm±20% | |
空载谐振频率 | 1.4 | 1.4 | kHz±20% | |
闭/开环空载阶跃时间 | 15 | 1 | ms±20% | |
闭环工作频率（-3dB） | - | - | Hz±20% | |
承载能力 | 水平安装 | 1 | 1 | kg |
立式安装 | 0.05 | 0.05 | ||
倒置安装 | 0.1 | 0.1 | ||
静电容量 | 3.6 | 3.6 | μF±20% | |
材质 | 铝 | 铝 | ||
重量 | 200 | 200 | g±5% | |
**与驱动控制器的电流有关。
***可定制低温版本及高真空版本。
****连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。
安装方向 | 水平安装 | 立式安装 | 倒置安装 |
释义 | 将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向
| 将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应承载
| 将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
示意图 | | | |
备注 | 当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 | ||
尺寸图
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