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2016-07-20
+2018-07-11
+2017-12-05
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详细介绍
| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 国产 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保,能源,道路/轨道/船舶,综合,机械设备 |
JKZC-P66.X60一维X向高分辨率压电纳米定位台 60μm

产品介绍:
JKZC-P66.X60高分辨率压电纳米定位台以压电陶瓷为驱动源并采用直驱式驱动机构的压电位移平台,是压电与柔性铰链相结合的纳米定位系统,可达毫秒级响应、纳米级定位精度,并可选配高精度传感器进行闭环精密定位控制。该产品非常适于定位应用,如干涉中光路径长度修正、显微或扫描应用中的样品定位等。
产品特点:
1、 位移60μm 2、承载能力6kg 3、亚毫秒响应时间 |
44 4 4、开闭环可选 5、真空版本可选
开闭环版本可选
JKZC- P66系列压电纳米定位台可以选择开环或闭环版本,闭环版本压电纳米定位台内部配有高分辨率及快速响应的应变传感器(SGS),配备在驱动机构的合适位置,它可向控制器反馈高带宽、高精度的电压信号。
应用实例:原子力探针扫描显微镜
压电纳米定位台以其高响应频率、高精度、高可靠性等优势广泛应用于原子力探针扫描显微镜中。
应用实例:原子力探针扫描显微镜


产品应用:
1、 光纤端面检测 2、光纤对接 3、硬盘测试
4、电化学加工 5、 3D锡膏检测 6、干涉法/ 显微/纳米定位
7、生物技术/半导体技术 8、质量保证测试 9、微加工/精密控制
技术参数:
型号 | 尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | JKZC-P66.X60S JKZC-P66.X60K | 单位 | |
运动自由度 | X | |||
驱动控制 | 1路驱动,1路传感 | |||
标称行程范围(0~120V) | 48 | μm±10% | ||
Max.行程范围上限(0~150V) | 60 | μm±10% | ||
传感器类型 | SGS/- | |||
闭/开环分辨率 | 2/0.5 | nm | ||
闭环线性度 | 0.1/- | %F.S. | ||
闭环重复定位精度 | 0.05/- | %F.S. | ||
俯仰/偏航/滚动 | <20 | μrad | ||
推/拉力 | 160/16 | N | ||
运动方向刚度 | 2.8 | N/μm±20% | ||
空载谐振频率 | 2.8 | kHz±20% | ||
闭/开环空载阶跃时间 | 10/1.6 | ms±20% | ||
闭环工作频率(-3dB) | 500(空载) | Hz±20% | ||
承载能力 | 水平安装 | 6 | kg | |
立式安装 | 0.1 | kg | ||
倒置安装 | 6 | kg | ||
静电容量 | 7.2 | μF±20% | ||
材质 | 铝 | |||
重量 | 190 | g±5% | ||
安装方向 | 水平安装 | 立式安装 | 倒置安装 |
释义 | 将PZT平台水平放置安装,运动面位于PZT平台的上方,运动面与水平面平行。 PS:参数表中承载能力默认方向
| 将PZT平台立式放置安装,运动面与重力方向平行 PS:存在多种立式安装方式,技术参数对应承载
| 将PZT平台水平放置,但运动面位于定位台的下方 |
示意图 | | | |
备注 | 当安装方式选择为立式安装时,需注意出线口 | ||
尺寸图
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