描述：HFO-100型铪基铁电薄膜测试仪是一款高量程款的铁电性能材料测试装置，这款设备可以适用于铁电薄膜、铁电体材料（既可块体材料）的电性能测量，可测量铁电薄膜电滞回线、可测出具有非对称电滞回线铁电薄膜值。

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2025-09-10
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材料电学性能测试仪

铁电材料参数测试系统液态材料介电常数测试仪储能电介质充放电测试仪热电性能测试仪铁电测试仪高温熔融玻璃电导率测试装置材料电阻测试仪压电高压放大器电卡效应测试系统金属材料高温电阻测试系统压电材料电阻率综合测试仪变温光谱测试系统材料高温双波段发射率测量系统居里点温度测试仪非接触式表面电压测量仪电介质充放电测试系统高温气敏材料测量系统热释电系数高温测试系统材料高温电学测试仪阻抗分析仪高低温D33测量系统压电电荷测量仪高温极化装置磁性材料测试设备热电材料分析系统压电系数d33测量仪 d33测量仪准静态d33测量仪高低温介电材料测试仪高温介电材料测试仪铁电材料测试仪热电材料参数测试仪梯温析晶测定仪真空封管设备介电测试仪压电材料测试仪粉末材料电阻率测试仪压电阻抗分析仪
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详细介绍

品牌	其他品牌	产地类别	国产
应用领域	环保,能源,电子/电池,电气,综合

关键词:Hfo2, 铪基铁电,铁电薄膜，疲劳，电滞回线

HFO-100型铪基铁电薄膜测试仪

一、产品介绍：

HFO-100型铪基铁电薄膜测试仪是一款高量程款的铁电性能材料测试装置，这款设备可以适用于铁电薄膜、铁电体材料（既可块体材料）的电性能测量，可测量铁电薄膜电滞回线、可测出具有非对称电滞回线铁电薄膜值。可以进行电致应变测试，可以蝴蝶曲线功能，设备还可以扩展高温电阻，高温介电，电容-电压曲线，TSC/TSDC等功能。铁电材料的大规模应用源自钙钛矿结构钛酸钡铁电体的发现，直到今日钙钛矿铁电体仍然是无机铁电体中的主流。然而，在微纳电子应用中，与 CMOS 工艺更兼容的铪基铁电薄膜逐渐成为研究热点。本仪器是从事压电材料及压电元件生产、应用与研究部门的重要设备之一，已经在各大高校和科研院所广泛使用。

二、氧化铪铁电材料的崛起

传统的钙钛矿类铁电材料由于尺寸难以进一步缩小，已经难以满足现代集成电路对高密度与高集成度的需求。而氧化铪（HfO₂）基铁电材料凭借其的微缩能力和与现有CMOS工艺的兼容性，成为近年来铁电研究的热点材料。氧化铪材料的出现标志着铁电材料从传统迈向现代，开启了存储器应用的新纪元。

主要功能：

■高存储密度：单个存储单元由一个晶体管构成，可实现高密度集成；

■低功耗：极化翻转所需能量低于传统存储器；

■高速性：操作速度小于20纳秒，适合实时性要求高的应用场景；

■非破坏性读取：避免数据读取过程中对存储状态的破坏，提高整体存储效率。

二、主要技术指标：

1、输出信号电压：：±100 V可扩展电致应蝴蝶曲线功能

2、温度；室温-200℃，控温精度：±1℃

3、控制施加频率0.01到1KHz（陶瓷、单晶，薄膜）PC端软件控制自定义设置；

4、控制输出电流0到±50mA连续可调，PC端软件控制自定义设置。

5、动态电滞回线测试频率范围 0.01Hz-1kHz

7、最小脉宽保持时间为20us;最小上升沿时间为10us;

8、疲劳测试频率500kHz（振幅10 Vpp，负载电容1 nF）；

9、测试速度：测量时间《5秒/样品•温度点

10、样品规格：块体材料尺寸：直径2-100mm，厚度0.1-10mm

11、主要功能： 动态电滞回线DHM，静态电滞回线SHM，I-V特性，脉冲PUND，疲劳Fatigue，电击穿强度BDM，漏电流LM，电流-偏压，保持力RM，

10. 电荷解析度不小于10 mC;

漏电流测量范围:1pA~ 20 mA，分辨率不低于0.1pA;

12、控制方式：计算机实时控制、实时显示、实时数据计算、分析与存储

13、软件采集：自动采集软件，分析可以兼容其他相关主流软件。

14、测试精度：±0.05%

15、内置电压：±20V

16、可增模块：

印迹印痕IM

变温测试THM

POM 模块实现极化测量功能

CVM模块实现小信号电容测试，获得C-V曲线

PZM模块实现压电特性测试

DPM模块测试介电性能

RTM模块测试电阻/电阻率性能

CCDM模块实现电容充放电测试。

17、探针台(选配)：

规格/参数
型号		MPS-4	MPS-6		MPS-8		MPS-12
电力需求		220VC,50-60HZ
样品台	尺寸	4寸	6寸		8寸		12寸
	行程	XY行程50mm，Z轴升降60mm，360°旋转可锁紧
	移动精度	标配10μm，可升级（5μm，3μm，1μm）
	背电极测试功能	可以引出电极	可以引出电极		可以引出电极		可以引出电极
	定制模块	可定制位移行程和精度	可定制位移行程和精度		可定制位移行程和精度		可定制位移行程和精度
探针调整座	XYZ行程	13mm-13mm-13mm
	机械精度	标配10μm，可升级（5μm，3μm，1μm）
	漏电精度	10pA-100fA（配置屏蔽箱）
	安装方式	直接磁力吸附/可调磁力吸附/真空吸附
	接口形式	香蕉插头/鳄鱼夹/同轴BNC/三同轴BNC
光学成像	放大倍数	7-200倍（最大可升级到720倍）
	CCD像素	500W（可升级200W）
	中心距离	140mm，升降范围270mm，总高度350mm
	显示器	8寸显示器，将3-17mm的样品放大到整个屏幕（可升级大尺寸显微镜）
可选附件		加热卡盘		高低温卡盘		镀金卡盘
		隔振支架		积分球测试选件		屏蔽箱
		射频测试附件		导入光源支架		波长单色可调光纤光源（测光电流）
		显微镜调节手动/电动调节装置		激光切割显微镜		转接头配件