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2016-12-06
+2024-10-11
+2024-12-10
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详细介绍
| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 国产 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保,能源,道路/轨道/船舶,综合,机械设备 |
JKZC-P63.Z7一维Z向高分辨率压电
纳米定位台 6.8μm

产品介绍
JKZC-P63.Z直驱压电平移台,是一维Z轴运动高分辨率压电定位台,采用压电陶瓷直驱机构的设计原理,具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置高精度传感器,可以实现纳米级分辨率、定位精度具有较高的可靠性,压电平移台在精密定位领域中发挥着重要的作用。
产品特点
1、 1~3维自由组合 2、位移行程6.8μm 3、亚毫秒响应时间
4、承载0.8kg 5、 重复定位精度可达纳米级 6、真空版本可选

快速响应、可选闭环传感
JKZC-P63 系列纳米定位台是超高精密纳米定位系统,是为 AFM、SPM、STM 等显微扫描纳米操作等应用而设计的,具有超低惯性,响应时间可达 0.3ms,可配置高精度闭环传感器进行高分辨率高速扫描。
应用实例:纳米切削
JKZC-P63系列三维压电纳米定位台已广泛应用于基于SEM在线纳米切削平台的切削力测试实验中。



产品应用
1、 光纤端面检测 2、纳米压印 3、 纳米计量 4、微操控 5、纳米光刻 6、干涉法/ 扫描显微/纳米定位 7、 生物技术/半导体技术 8、质量保证测试 JKZC-P63系列产品
|

技术参数
型号 | 尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | JKZC-P63.Z7S | JKZC-P63.Z7K | 单位 | |
运动自由度 | Z | Z | |||
驱动控制 | 1路驱动,1路传感 | 1路驱动 | |||
标称行程范围(0~120V) | 5.5 | 5.5 | μm±10% | ||
Max.行程范围(0~150V) | 6.8 | 6.8 | μm±10% | ||
传感器类型 | SGS | - | |||
闭/开环分辨率 | 0.2 | 0.1 | nm | ||
闭环线性度 | 0.4 | - | %F.S. | ||
闭环重复定位精度 | 0.2 | - | %F.S. | ||
俯仰/偏航/滚动 | <5 | <5 | μrad | ||
推/拉力 | 12/2 | 12/2 | N | ||
运动方向刚度 | 2 | 2 | N/μm±20% | ||
空载谐振频率 | 2.5 | 2.5 | kHz±20% | ||
闭/开环空载阶跃时间 | 1.5 | 0.3 | ms±20% | ||
闭环空载 工作频率 | 10%行程 | 1000 | 1000 | Hz±20% | |
100%行程 | 200 | 200 | |||
承载能力 | 水平安装 | 0.8 | 0.8 | kg | |
立式安装 | 0.05* | 0.05* | kg | ||
立式安装 | 0.05 | 0.05 | kg | ||
静电容量 | 0.8 | 0.8 | μF±20% | ||
材质 | 铝 | 铝 | |||
重量 | 70 | 70 | g±5% | ||
*立式方向安装时,其负载上限取决于具体安装方向。
安装方向 | 水平安装 | 立式安装 | 倒置安装 |
释义 | 将PZT平台水平放置安装,运动面位于PZT平台的上方,运动面与水平面平行。 PS:参数表中承载能力默认方向
| 将PZT平台立式放置安装,运动面与重力方向平行 PS:存在多种立式安装方式,技术参数对应承载
| 将PZT平台水平放置,但运动面位于定位台的下方 |
示意图 | | | |
备注 | 当安装方式选择为立式安装时,需注意出线口 | ||
尺寸图
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