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型号:
JKZC-P63.Z7一维Z向高分辨率压电纳米定位台

描述:JKZC-P63.Z直驱压电平移台,是一维Z轴运动高分辨率压电定位台,采用压电陶瓷直驱机构的设计原理,具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置高精度传感器,可以实现纳米级分辨率、定位精度具有较高的可靠性,压电平移台在精密定位领域中发挥着重要的作用。

  • 厂商性质

    生产厂家
  • 更新时间

    2026-08-11
  • 访问量

    7
详细介绍
品牌其他品牌产地类别国产
应用领域环保,能源,道路/轨道/船舶,综合,机械设备

JKZC-P63.Z7一维Z向高分辨率压电
纳米定位台 6.8μm

JKZC-P63.Z7一维Z向高分辨率压电纳米定位台

 

产品介绍

JKZC-P63.Z直驱压电平移台,是一维Z轴运动高分辨率压电定位台,采用压电陶瓷直驱机构的设计原理,具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置高精度传感器,可以实现纳米级分辨率、定位精度具有较高的可靠性,压电平移台在精密定位领域中发挥着重要的作用。

产品特点

1、 1~3维自由组合            2、位移行程6.8μm     3、亚毫秒响应时间

4、承载0.8kg                 5、 重复定位精度可达纳米级       6、真空版本可选


JKZC-P63.Z7一维Z向高分辨率压电纳米定位台

 

 

 

快速响应、可选闭环传感

JKZC-P63 系列纳米定位台是超高精密纳米定位系统,是为 AFM、SPM、STM 等显微扫描纳米操作等应用而设计的,具有超低惯性,响应时间可达 0.3ms,可配置高精度闭环传感器进行高分辨率高速扫描。

应用实例:纳米切削

JKZC-P63系列三维压电纳米定位台已广泛应用于基于SEM在线纳米切削平台的切削力测试实验中。

 

JKZC-P63.Z7一维Z向高分辨率压电纳米定位台



JKZC-P63.Z7一维Z向高分辨率压电纳米定位台

 

 

JKZC-P63.Z7一维Z向高分辨率压电纳米定位台


产品应用


1、 光纤端面检测     2、纳米压印         3、 纳米计量  

4、微操控           5、纳米光刻          6、干涉法/ 扫描显微/纳米定位

7、 生物技术/半导体技术      8、质量保证测试

JKZC-P63系列产品

JKZC-P63系列压电纳米定位台,包括X、Z、XY、XZ、XYZ多种运动方式可选。小体积易于集成配套。

 

 


 

JKZC-P63.Z7一维Z向高分辨率压电纳米定位台


 

 

 

技术参数

型号

尾缀S-闭环

尾缀K-开环

JKZC-P63.Z7S

JKZC-P63.Z7K

单位

运动自由度

Z

Z


驱动控制

1路驱动,1路传感

1路驱动


标称行程范围(0~120V)

5.5

5.5

μm±10%

Max.行程范围(0~150V)

6.8

6.8

μm±10%

传感器类型

SGS

-


/开环分辨率

0.2

0.1

nm

闭环线性度

0.4

-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.2

-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<5

<5

μrad

/拉力

12/2

12/2

N

运动方向刚度

2

2

N/μm±20%

空载谐振频率

2.5

2.5

kHz±20%

/开环空载阶跃时间

1.5

0.3

ms±20%

闭环空载

工作频率

10%行程

1000

1000

Hz±20%

100%行程

200

200

承载能力

水平安装

0.8

0.8

kg

立式安装

0.05*

0.05*

kg

立式安装

0.05

0.05

kg

静电容量

0.8

0.8

μF±20%

材质


重量

70

70

g±5%

*立式方向安装时,其负载上限取决于具体安装方向。

 

 

 

安装方向

水平安装

立式安装

倒置安装

释义

 PZT平台水平放置安装,运动面位于PZT平台的上方,运动面与水平面平行

PS:参数表中承载能力默认方向

 

 PZT平台立式放置安装,运动面与重力方向平行

PS:存在多种立式安装方式,技术参数对应承载

 

PZT平台水平放置,但运动面位于定位台的下方

示意图

 JKZC-P63.Z7一维Z向高分辨率压电纳米定位台

 JKZC-P63.Z7一维Z向高分辨率压电纳米定位台

 JKZC-P63.Z7一维Z向高分辨率压电纳米定位台

备注

当安装方式选择为立式安装时,需注意出线口

 

尺寸图

JKZC-P63.Z7一维Z向高分辨率压电纳米定位台 


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