描述：1、 铰链闭环 2、高低温版本 3、 抗振动设计 4、差分驱动

5、快速响应 6、两通道控制（含 1 路恒压） 7、真空版本可选

运动自由度

X

X

驱动控制

1路驱动，1路传感

2路驱动

标称行程范围（0 ~120 V）

±130

±130

µm±10%

Max.行程范围（0~150V）

±165

±165

µm±10%

传感器类型

SGS

-

分辨率

9

0.3

nm

线性度

0.1

-

%F.S.

重复定位精度

0.04

-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

＜10

＜10

μrad

推/拉力

300/30

300/30

N

运动方向刚度

1.2

1.2

N/μm±20%

空载谐频

490

490

Hz±20%

闭/开环空载阶跃时间

80

40

ms±20%

承载能力

水平安装

1

1

kg

立式安装

0.5

0.5

倒置安装

1

1

静电容量

24.6

24.6

μF±10%

工作温度

-40~+80

-40~+80

℃

抗振设计

半正弦

15g， 11ms

15g， 11ms

后峰锯齿波

20g， 11ms

20g， 11ms

材质

钢、铝

钢、铝

重量

950

950

g±5%

释义

 将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT平台的上方，运动面与水平面平行。

PS：参数表中承载能力默认方向

 将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行

PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应承载

将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方

示意图

备注

当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口