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2019-07-23
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JKZC-611.Z300 是一款 Z 向运动的压电纳米定位台,它的行 程可达 300μm,是专为低温真空环境应用而研发设计。
JKZC66.X90C高分辨率压电纳米定位台可实现一维X向直线运动,行程可达到95μm。闭环版本采用电容CAP闭环,搭配芯明天自研的E53.D1C-H压电控制器,可以实现更高精度的运动控制。
JKZC66.X15系列高分辨率压电纳米定位台为一维X向运动压电平台,其内部采用直驱机构,可进行15μm范围内的纳米级位置调整。可采用水平、立式、倒置三种安装方式,每种安装承载能力不同,承载上限可达1kg。闭环版本可实现更高的定位精度。
JKZC66.X2K为一款一维真空高分辨率压电纳米定位台。该产品采用直驱结构,可在X向实现2.4μm位移,承载可达1kg。它尺寸为70mm×85mm×20.5mm,体积非常小巧,可在体积有限的空间中使用。定制航空连接器,可在真空环境下使用。
产品特点 1、Z向位移1000μm 2、可选闭环传感器 3、承载1.5kg 4、静电容量72μF 5、真空版本可选
为满足客户真空无磁环境下压电纳米定位台使用需求,芯明天研发和设计了JKZC60.Z500S/K-C1W一维Z向压电纳米定位台。其内部采用无摩擦柔性铰链导向机构,一体化的结构设计。定位台内置高性能压电陶瓷,可实现500μm位移。闭环版本全桥设计避免了温度的漂移,确保了纳米级定位精度。其内部结构、材质已经过特殊处理,适用于真空无磁环境。