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2018-03-30
+2016-07-08
+2025-03-11
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详细介绍
| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 国产 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保,能源,道路/轨道/船舶,综合,机械设备 |
P11.X100一维X向小体积压电纳米定位台 100μm
产品介绍
JKZC-P11系列小体积压电纳米定位台为小体积1~3维压电平移台，JKZC-P11.X为一维小体积压电纳米定位台，平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，一体的结构设计，多维运动无耦合。 机构放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷，可实现100μm位移。闭环版本定位精度可达纳米级。采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有导向精度，具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有控制精度，分辨率和稳定 性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级，压电定位台为无磁材质，使用过程中不受磁场的影响，压电定位台体积小、结构紧凑 易于集成。
产品特点
1、 一维X轴运动 2、 位移行程100μm 3、 体积小巧
4、 毫秒级响应时间 5、 纳米级定位精度 6、 真空版本可选
大行程、闭环版本定位精度高、响应速度快
JKZC-P11系列纳米定位台采用机构放大设计原理，内置高可靠性压电陶瓷作为驱动源，可以实现1~3维100μm的精密运动。
该系列压电纳米定位台可以选择开环或闭环版本， 闭环版本采用高精度传感器对位置进行实时检测反馈，配置芯明天E00/E01、E72/E73、E52/E53等系列闭环压电控制器可以实时对位移进行精密调整，实现纳米级的精密定位控制。
产品应用
1、 光纤定位/光学扫描 2、 纳米压印 3、纳米计量 4、微操控
5、 纳米定位 6、 干涉法/ 扫描显微/纳米定位 7、生物技术/半导体技术 8、质量保证测试 9、微加工/精密控制
JKZC-P11全系列产品
技术参数
型号 | 尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | JKZC-P11.X100S JKZC-P11.X100K | 单位 |
运动自由度 | X | ||
驱动控制 | 1路驱动，1路传感 | ||
标称行程范围（0~120V） | 80 | μm±10% | |
Max.行程范围（0~150V） | 100 | μm±10% | |
传感器类型 | SGS/- | ||
闭/开环分辨率 | 3/0.1 | nm | |
闭环线性度 | 0.05/- | %F.S. | |
闭环重复定位精度 | 0.02/- | %F.S. | |
俯仰/偏航/滚动 | <10 | μrad | |
推/拉力 | 30/10 | N | |
运动方向刚度 | 0.3 | N/μm±20% | |
空载谐振频率 | 0.3 | kHz±20% | |
闭/开环空载阶跃时间 | 10/0.8 | ms±20% | |
闭环工作频率（-3dB） | 70（负载100g） | Hz±20% | |
承载能力 | 水平安装 | 0.8 | kg |
立式安装 | 0.05 | ||
倒置安装 | 0.8 | ||
静电容量 | 1.8 | μF±20% | |
材质 | 钢、铝 | ||
重量 | 100 | g±5% | |
若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电压要足够小，请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。
可定制低温版本及高真空版本。
连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。
安装方向 | 水平安装 | 立式安装 | 倒置安装 |
释义 | 将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向
| 将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应承载
| 将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
示意图 | | | |
备注 | 当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 | ||
尺寸图
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