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2025-12-09
+2016-07-08
+2025-04-24
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详细介绍
| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 国产 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保,能源,道路/轨道/船舶,综合,机械设备 |
JKZC-P66.X30 一维X向高分辨率压电纳米定位台 30μm
产品介绍：
JKZC-P66.X直驱压电平移台，是一维X轴运动高分辨率压电定位台，采用压电陶瓷直驱机构的设计原理，具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可以实现纳米级分辨率、定位精度具有可靠性，压电平移台在精密定位领域中发挥着重要的作用。
产品特点:
1、 位移30μm/轴 2、 电阻与电容传感器可选 3、 多维运动无耦合 5、 承载8kg 6、 真空版本可选
|
开环与闭环版本可选
JKZC-P66系列压电纳米定位台可以选择开环或闭环版本，闭环版本压电纳米定位台内部配有高分辨率及快速响应的应变传感器（SGS），配备在驱动机构的合适位置，它可向控制器反馈高带宽、高精度的电压信号。
传感器使用全桥配置以消除热漂移，使得该系列纳米定位台可以实现满行程0.05%的线性度与重复度。
传感器类型
应用实例：原子力探针扫描显微镜
JKZC-P66.XY压电纳米定位台以其高响应频率、高精度、高可靠性等优势广泛应用于原子力探针扫描显微镜中。
产品应用：
1、 光纤端面检测 2、 光纤对接 3、硬盘测试 4、电化学加工
5、3D锡膏检测 6、 干涉法/ 显微/纳米定位 7、 生物技术/半导体技
8、质量保证测试 9、微加工/精密控制
技术参数：
型号 | 尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | JKZC-P66.X30S | JKZC-P66.X30K | 单位 |
运动自由度 | X | X | ||
驱动控制 | 1路驱动，1路传感 | 1路驱动 | ||
传感器类型 | SGS | - | ||
标称行程范围（0~120 V） | 24 | 24 | µm±10% | |
Max.形成范围（0~150 V） | 30 | 30 | µm±10% | |
分辨率 | 1 | 0.5 | nm，typ. | |
闭环线性度 | 0.1 | - | %F.S. | |
重复定位精度 | 0.05 | - | %F.S. | |
倾斜/偏航/滚动 | <15 | <15 | µrad | |
运动方向刚度 | 4.4 | 4.4 | N/µm±20% | |
空载谐振频率 | 5 | 5 | kHz±20% | |
闭环工作频率（-3dB） | 600（空载） | 600（空载） | Hz±20% | |
闭 / 开环空载阶跃时间 | 5 | 0.8 | ms±20% | |
运动方向推/拉力 | 120/15 | 120/15 | N | |
承载能力 | 水平安装 | 8 | 8 | kg |
立式安装 | 0.3 | 0.3 | kg | |
倒置安装 | 8 | 8 | kg | |
驱动性能 | ||||
静电容量 | 3.6 | 3.6 | μF±20% | |
材质 | 铝 | 铝 | ||
重量 | 120 | 120 | g±5% | |
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