描述：JKZC-11.X/Z200 系列小体积压电纳米定位台是一维运动压电平台，它的行程范围可达200μm，运动方向可选X向或Z向。可选配闭环反馈传感器，获取更高精度。可定制低温真空版本。

运动自由度

X

X

Z

Z

驱动控制

1路驱动，1路传感

1路驱动

1路驱动，1路传感

1路驱动

标称行程范围（0~120V）

160

160

160

160

μm±20%

Max.行程范围（0~150V）

200

200

200

200

μm±20%

传感器类型

SGS

-

SGS

-

分辨率

5.5

0.2

5.5

0.2

nm

闭环线性度

0.05

-

0.15

-

%F.S.

重复定位精度

0.02

-

0.06

-

%F.S.

俯仰 / 偏航 / 滚动

＜20

＜20

＜10

＜10

μrad

推 / 拉力

-

-

70/6

70/6

N

真空环境

10^-4

10^-4

-

-

Pa

运动方向刚度

-

-

0.45

0.45

N/μm±20%

空载谐振频率

0.3

0.3

0.18

0.18

kHz±20%

闭 / 开环空载阶跃时间

20

0.8

10

0.8

ms±20%

承载能力

水平安装

0.5

0.5

0.5

0.5

kg

立式安装

0.03

0.03

0.03

0.03

kg

倒置安装

0.5

0.5

0.03

0.03

kg

静电容量

3.6

3.6

3.6

3.6

μF±20%

材质

钢、铝

钢、铝

钢、铝

钢、铝

重量

-

-

170

170

g±5%

位移与电压曲线

-

-

谐振频率与负载曲线

-

-

线性度曲线

-

-

释义

 将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT平台的上方，运动面与水平面平行。

PS：参数表中承载能力默认方向

 将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行

PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应承载

将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方

示意图

备注

当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口