当前位置:首页  >  产品中心  >  先进材料测试仪器  >  压电陶瓷元件  >  高精度Hexapods
型号:
高精度Hexapods

描述:JKZC系列 高精度六自由度并联运动平台可实现多自由度运动,动态范围大,承载大,稳定性强,任意指定转动中心,可满足各种工业需求,适应大气和真空环境。广泛应用于显微操纵、生物技术、半导体制造等。

  • 厂商性质

    生产厂家
  • 更新时间

    2026-04-21
  • 访问量

    8
详细介绍
品牌其他品牌产地类别国产
应用领域环保,能源,电子/电池,电气,综合

高精度Hexapods

JKZC系列 高精度六自由度并联运动平台可实现多自由度运动,动态范围大,承载大,稳定性强,任意指定转动中心,可满足各种工业需求,适应大气和真空环境。广泛应用于显微操纵、生物技术、半导体制造等。

高精度Hexapods 

1、典型应用

半导体封测

主动光学

生物技术

视觉装配

显微操纵

光纤校准

2、技术特点

亚纳米级定位稳定性

纳米级闭环运动分辨力

无摩擦柔性铰链导向

大负载

空间多自由度

各级真空兼容性

3、2D尺寸图


高精度Hexapods 



4、规格参数

支持非标定制

JKZC-TM-130

单位

运动轴

X,Y,Z,θx/θY/θz


传感器类型

绝对式圆光栅


驱动类型

无刷直流电机


X/Y/Z闭环行程

±24/±24/±10

mm

θx/θY/θz闭环行程

±13/±13/±30

°

X/Y/Z方向上的最小位移

0.1

μm

θX/θY/θZ方向上的最小位移

0.5

arcsec

X/Y/Z单向重复定位精度

±0.25

μm

θX/θY/θZ单向重复定位精度

±0.3

arcsec

X/Y/Z向的最大速度

5

mm/s

θX/θY/θZ向的最大速度

14.3

deg/s

水平方向承载能力

10

kg

任意方向承载能力

1.5

kg

材料

铝合金/不锈钢


工作温度

0-50

尺寸

φ155x130

mm


5、适配控制器

高精度Hexapods


产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7