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半导体材料四探针测试仪

半导体材料四探针测试仪

型    号: JKZC-ST4
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JKZC-ST4型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》并参考美国 A.S.T.M 标准
仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、测量简便、结构紧凑、使用方便等特点。

JKZC-ST4半导体材料四探针测试仪的详细资料:

JKZC-ST4型半导体材料四探针测试仪

关键词:电阻,电阻率,四探针,半导体

 

 

      

 

   

  

    

膜探头测薄膜                  钨针探头

一、产品概述

    JKZC-ST4型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》并参考美国 A.S.T.M 标准。

仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、测量简便、结构紧凑、使用方便等特点。

仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试。

二、符合:

1、符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、

2、符合GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》

3、符合美国 A.S.T.M 标准

二、产品应用:

1、测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻;

2、可测柔性材料导电薄膜电阻率/方阻

3、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜(ITO膜)电阻率/方阻

4、纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻

5、电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量

6、可测试电池极片等箔上涂层电阻率方阻

二、基本技术参数

1、  测量范围

     电  阻:1×10-4~2×105 Ω   ,分辨率:1×10-5~1×102 Ω

   电阻率:1×10-4~2×105 Ω-cm,分辨率:1×10-5~1×102 Ω-cm

   方  阻:5×10-4~2×105 Ω/□,分辨率:5×10-5~1×102 Ω/□

2、测量方式:自动或手动

3、基本精度:±0.1/%

4、四探针探头:

   (1)碳化钨探针:Φ0.5mm,直线探针间距1.0mm,探针压力: 0~2kg 可调

   (2)薄膜方阻探针:Φ0.7mm,直线或方形探针间距2.0mm,探针压力: 0~0.6kg 可

5. 电源:198V -242V(AC),47.5Hz -63Hz

6、操作环境:  0°C -40°C ,≤90%RH

7、外形尺寸:200mm(长)×220 mm(宽)×100mm(高)

8、数据传输方式;USB

9、软件方式:人性化分析软件界面,数据自动生成 

 

    

                      分析软件(一)

 


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